उच्च-शुद्धता गैस पाइपिंग तकनीक उच्च-शुद्धता गैस आपूर्ति प्रणाली का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है, जो आवश्यक उच्च शुद्धता गैस को उपयोग के बिंदु तक पहुंचाने के लिए प्रमुख तकनीक है और अभी भी योग्य गुणवत्ता को बनाए रखती है; उच्च-शुद्धता गैस पाइपिंग तकनीक में सिस्टम का सही डिजाइन, फिटिंग और सामान का चयन, निर्माण और स्थापना और परीक्षण शामिल है। हाल के वर्षों में, बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट द्वारा प्रतिनिधित्व किए गए माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उत्पादों के उत्पादन में उच्च शुद्धता गैसों की शुद्धता और अशुद्धता सामग्री पर तेजी से सख्त आवश्यकताएं उच्च-शुद्धता गैसों की पाइपिंग तकनीक को तेजी से चिंतित और जोर देती हैं। निम्नलिखित सामग्री चयन से उच्च शुद्धता गैस पाइपिंग का एक संक्षिप्त अवलोकन हैof निर्माण, साथ ही स्वीकृति और दैनिक प्रबंधन।
सामान्य गैसों के प्रकार
इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में सामान्य गैसों का वर्गीकरण：
सामान्य गैसें（थोक गैस）: हाइड्रोजन (एच)2), नाइट्रोजन2), ऑक्सीजन (ओ)2), आर्गन (ए2), वगैरह।
विशेष गैसेंसिह हैं4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,एचसीएल,CF4 ,NH3,पका हुआ3, SIH2CL2 Sihcl3,NH3, बीसीएल3 ,सिप4 ,सीएलएफ3 ,सीओ,C2F6, एन 2 ओ,F2,एचएफ,एचबीआर एसएफ6…… वगैरह।
विशेष गैसों के प्रकारों को आमतौर पर संक्षारक के रूप में वर्गीकृत किया जा सकता हैगैस, विषाक्तगैस, ज्वलनशीलगैस, दहनशीलगैस, निष्क्रियगैस, आदि आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले अर्धचालक गैसों को आम तौर पर निम्नानुसार वर्गीकृत किया जाता है।
(i) संक्षारक / विषाक्तगैस: एचसीएल, बीएफ3, डब्ल्यूएफ6, एचबीआर, सिह2Cl2, एनएच3, पीएच3, सीएल2, बीसीएल3…वगैरह।
(ii) ज्वलनशीलतागैस: एच2, सीएच4, सिह4, पीएच3, ऐश 3, सिह2Cl2, बी2H6, CH2F2,चौधरी3एफ, सह ... आदि।
(iii) दहनशीलतागैस: ओ2, सीएल2, एन2ओ, एनएफ3… वगैरह।
(iv) निष्क्रियगैस: एन2, सीएफ4, सी2F6, सी4F8,एस एफ6, सह2, ने, केआर, वह ... आदि।
कई अर्धचालक गैसें मानव शरीर के लिए हानिकारक हैं। विशेष रूप से, इनमें से कुछ गैसें, जैसे कि SIH4 सहज दहन, जब तक एक रिसाव हवा में ऑक्सीजन के साथ हिंसक रूप से प्रतिक्रिया करेगा और जलने लगेगा; और राख3अत्यधिक विषाक्त, किसी भी मामूली रिसाव से मानव जीवन का जोखिम हो सकता है, यह इन स्पष्ट खतरों के कारण है, इसलिए सिस्टम डिजाइन की सुरक्षा के लिए आवश्यकताएं विशेष रूप से अधिक हैं।
गैसों का आवेदन का दायरा
आधुनिक उद्योग के एक महत्वपूर्ण बुनियादी कच्चे माल के रूप में, गैस उत्पादों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, और बड़ी संख्या में सामान्य गैसों या विशेष गैसों का उपयोग धातुकर्म, स्टील, पेट्रोलियम, रासायनिक उद्योग, मशीनरी, इलेक्ट्रॉनिक्स, कांच, सेरामिक्स, निर्माण सामग्री, निर्माण, खाद्य प्रसंस्करण, चिकित्सा और चिकित्सा क्षेत्रों में किया जाता है। गैस के अनुप्रयोग का विशेष रूप से इन क्षेत्रों की उच्च तकनीक पर एक महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है, और यह अपरिहार्य कच्चा माल गैस या प्रक्रिया गैस है। केवल विभिन्न नए औद्योगिक क्षेत्रों और आधुनिक विज्ञान और प्रौद्योगिकी की जरूरतों और प्रचार के साथ, गैस उद्योग उत्पादों को विविधता, गुणवत्ता और मात्रा के संदर्भ में छलांग और सीमा द्वारा विकसित किया जा सकता है।
माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक और सेमीकंडक्टर उद्योग में गैस अनुप्रयोग
गैस के उपयोग ने हमेशा सेमीकंडक्टर प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाई है, विशेष रूप से सेमीकंडक्टर प्रक्रिया का व्यापक रूप से विभिन्न उद्योगों में व्यापक रूप से उपयोग किया गया है, पारंपरिक ULSI, TFT-LCD से लेकर वर्तमान माइक्रो-इलेक्ट्रो-मैकेनिकल (MEMS) उद्योग तक, जो सभी तथाकथित अर्धचालक प्रक्रिया का उपयोग उत्पादों की निर्माण प्रक्रिया के रूप में करते हैं। गैस की शुद्धता का घटकों और उत्पाद की पैदावार के प्रदर्शन पर निर्णायक प्रभाव पड़ता है, और गैस की आपूर्ति की सुरक्षा कर्मियों के स्वास्थ्य और संयंत्र संचालन की सुरक्षा से संबंधित है।
उच्च शुद्धता गैस परिवहन में उच्च शुद्धता पाइपिंग का महत्व
स्टेनलेस स्टील के पिघलने और सामग्री बनाने की प्रक्रिया में, लगभग 200 ग्राम गैस प्रति टन अवशोषित की जा सकती है। स्टेनलेस स्टील के प्रसंस्करण के बाद, न केवल इसकी सतह विभिन्न संदूषकों के साथ चिपचिपा, बल्कि इसकी धातु जाली में भी एक निश्चित मात्रा में गैस को अवशोषित करती है। जब पाइपलाइन के माध्यम से एयरफ्लो होता है, तो धातु गैस के इस हिस्से को अवशोषित करता है, शुद्ध गैस को प्रदूषित करते हुए एयरफ्लो में फिर से प्रवेश करेगा। जब ट्यूब में एयरफ्लो बंद प्रवाह होता है, तो ट्यूब दबाव में गैस का पालन करता है, और जब एयरफ्लो गुजरता है, तो ट्यूब द्वारा adsorbed गैस को हल करने के लिए एक दबाव ड्रॉप बनाता है, और हल की गई गैस भी ट्यूब में शुद्ध गैस में अशुद्धियों के रूप में प्रवेश करती है। इसी समय, सोखना और संकल्प दोहराया जाता है, ताकि ट्यूब की आंतरिक सतह पर धातु भी एक निश्चित मात्रा में पाउडर पैदा करे, और यह धातु धूल के कण भी ट्यूब के अंदर शुद्ध गैस को प्रदूषित करते हैं। ट्यूब की यह विशेषता परिवहन गैस की शुद्धता सुनिश्चित करने के लिए आवश्यक है, जिसके लिए न केवल ट्यूब की आंतरिक सतह की एक बहुत उच्च चिकनाई की आवश्यकता होती है, बल्कि एक उच्च पहनने के प्रतिरोध की भी आवश्यकता होती है।
जब मजबूत संक्षारक प्रदर्शन वाली गैस का उपयोग किया जाता है, तो पाइपिंग के लिए संक्षारण-प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टील पाइप का उपयोग किया जाना चाहिए। अन्यथा, पाइप जंग के कारण आंतरिक सतह पर संक्षारण धब्बे का उत्पादन करेगा, और गंभीर मामलों में, धातु स्ट्रिपिंग या यहां तक कि छिद्र का एक बड़ा क्षेत्र होगा, जो वितरित किए जाने वाले शुद्ध गैस को दूषित करेगा।
उच्च-शुद्धता और उच्च-स्वच्छता गैस संचरण और बड़े प्रवाह दरों के वितरण पाइपलाइनों का कनेक्शन।
सिद्धांत रूप में, उनमें से सभी को वेल्डेड किया जाता है, और उपयोग की जाने वाली ट्यूबों को वेल्डिंग लागू होने पर संगठन में कोई बदलाव नहीं करना पड़ता है। बहुत अधिक कार्बन सामग्री के साथ सामग्री वेल्डिंग करते समय वेल्डेड भागों की वायु पारगम्यता के अधीन होती है, जो पाइप के अंदर और बाहर गैसों के पारस्परिक पैठ बनाता है और प्रेषित गैस की शुद्धता, सूखापन और स्वच्छता को नष्ट कर देता है, जिसके परिणामस्वरूप हमारे सभी प्रयासों का नुकसान होता है।
सारांश में, उच्च-शुद्धता गैस और विशेष गैस ट्रांसमिशन पाइपलाइन के लिए, उच्च-शुद्धता वाले पाइपलाइन प्रणाली (पाइप, फिटिंग, वाल्व, वीएमबी, वीएमपी सहित) को उच्च-शुद्धता गैस वितरण में एक महत्वपूर्ण मिशन में उच्च-शुद्धता वाले पाइपलाइन प्रणाली (पाइप, फिटिंग, वाल्व, वीएमबी, वीएमपी सहित) बनाने के लिए उच्च-शुद्धता वाले स्टेनलेस स्टील पाइप के एक विशेष उपचार का उपयोग करना आवश्यक है।
ट्रांसमिशन और वितरण पाइपलाइनों के लिए स्वच्छ प्रौद्योगिकी की सामान्य अवधारणा
पाइपिंग के साथ अत्यधिक शुद्ध और स्वच्छ गैस बॉडी ट्रांसमिशन का मतलब है कि गैस के तीन पहलुओं के लिए कुछ आवश्यकताएं या नियंत्रण हैं।
गैस शुद्धता: जीजीएएस शुद्धता में अशुद्धता वातावरण की सामग्री: गैस में अशुद्धता वातावरण की सामग्री, आमतौर पर गैस शुद्धता के प्रतिशत के रूप में व्यक्त की जाती है, जैसे कि 99.9999%, भी अशुद्धता वातावरण सामग्री पीपीएम, पीपीबी, पीपीटी के आयतन अनुपात के रूप में व्यक्त की गई।
सूखापन: गैस में ट्रेस नमी की मात्रा, या गीलापन नामक राशि, आमतौर पर ओस बिंदु के संदर्भ में व्यक्त की जाती है, जैसे कि वायुमंडलीय दबाव ओस बिंदु -70। सी।
स्वच्छता: गैस में निहित दूषित कणों की संख्या, inm के कण आकार, कितने कणों/एम 3 को व्यक्त करने के लिए, संपीड़ित हवा के लिए, आमतौर पर यह भी कि कितने मिलीग्राम/एम 3 अपरिहार्य ठोस अवशेषों के संदर्भ में व्यक्त किया जाता है, जो तेल सामग्री को कवर करता है।
प्रदूषक आकार वर्गीकरण: प्रदूषक कण, मुख्य रूप से पाइपलाइन स्कॉरिंग, पहनने, धातु कणों, वायुमंडलीय कालिख कणों द्वारा उत्पन्न जंग, साथ ही सूक्ष्मजीवों, चरणों और नमी युक्त गैस संघनन बूंदों, आदि को संदर्भित करते हैं, इसके कण आकार के आकार के अनुसार, इसके कण आकार के आकार के अनुसार विभाजित होता है।
ए) बड़े कण - 5μm से ऊपर कण आकार
बी) कण-0.1μm-5μm के बीच सामग्री व्यास
सी) अल्ट्रा-माइक्रो कण-कण आकार 0.1μm से कम।
इस तकनीक के अनुप्रयोग को बढ़ाने के लिए, कण आकार और माइक्रोन इकाइयों की अवधारणात्मक समझ में सक्षम होने के लिए, संदर्भ के लिए विशिष्ट कण स्थिति का एक सेट प्रदान किया जाता है
निम्नलिखित विशिष्ट कणों की तुलना है
| नाम /कण आकार | नाम /कण आकार | नाम/ कण आकार)) |
| वायरस 0.003-0.0 | एयरोसोल 0.03-1 | एरोसोलाइज्ड माइक्रोड्रोपलेट 1-12 |
| परमाणु ईंधन 0.01-0.1 | पेंट 0.1-6 | फ्लाई ऐश 1-200 |
| कार्बन ब्लैक 0.01-0.3 | दूध पाउडर 0.1-10 | कीटनाशक 5-10 |
| राल 0.01-1 | बैक्टीरिया 0.3-30 | सीमेंट डस्ट 5-100 |
| सिगरेट का धुआं 0.01-1 | रेत धूल 0.5-5 | पराग 10-15 |
| सिलिकॉन 0.02-0.1 | कीटनाशक 0.5-10 | मानव बाल 50-120 |
| क्रिस्टलीकृत नमक 0.03-0.5 | केंद्रित सल्फर धूल 1-11 | सी सैंड 100-1200 |
पोस्ट टाइम: जून -14-2022