सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं के लिए उच्च शुद्धता गैस वितरण प्रणाली के लिए प्रौद्योगिकी समाधान

उच्च शुद्धता गैस पाइपिंग प्रौद्योगिकी उच्च शुद्धता गैस आपूर्ति प्रणाली का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है, जो आवश्यक उच्च शुद्धता गैस को उपयोग के बिंदु तक पहुंचाने और अभी भी योग्य गुणवत्ता बनाए रखने के लिए महत्वपूर्ण तकनीक है;उच्च शुद्धता गैस पाइपिंग प्रौद्योगिकी में सिस्टम का सही डिजाइन, फिटिंग और सहायक उपकरण का चयन, निर्माण और स्थापना, और परीक्षण शामिल हैं।हाल के वर्षों में, बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट द्वारा प्रस्तुत माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उत्पादों के उत्पादन में उच्च शुद्धता वाली गैसों की शुद्धता और अशुद्धता सामग्री पर तेजी से सख्त आवश्यकताओं ने उच्च शुद्धता वाली गैसों की पाइपिंग तकनीक को तेजी से चिंतित और जोर दिया है।निम्नलिखित सामग्री चयन से उच्च शुद्धता वाली गैस पाइपिंग का संक्षिप्त अवलोकन हैof निर्माण, साथ ही स्वीकृति और दैनिक प्रबंधन।

सामान्य गैसों के प्रकार

इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में आम गैसों का वर्गीकरण:

सामान्य गैसें（थोक गैस）: हाइड्रोजन (एच₂₎, नाइट्रोजन (एन₂), ऑक्सीजन (ओ₂), आर्गन (ए₂), आदि।

विशेषता गैसेंएसआईएच हैं₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,एचसीएल,CF₄ ,NH_3,पीओसीएल_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  बीसीएल_{3 ,}एसआईएफ₄ ,सीएलएफ₃ ,सीओ,C₂F_6, N2O,F_2,एचएफ,एचबीआर एसएफ₆…… आदि।

विशेष गैसों के प्रकार को आम तौर पर संक्षारक के रूप में वर्गीकृत किया जा सकता हैगैस, विषाक्तगैस, ज्वलनशीलगैस, दहनशीलगैस, निष्क्रियगैस, आदि। आमतौर पर इस्तेमाल होने वाली अर्धचालक गैसों को आमतौर पर निम्नानुसार वर्गीकृत किया जाता है।

(i) संक्षारक / विषैलागैस: एचसीएल, बीएफ₃, डब्ल्यूएफ₆, एचबीआर, एसआईएच₂Cl₂, एनएच₃, पीएच₃, सीएल₂, बीसीएल₃…आदि।

(ii) ज्वलनशीलतागैस: एच₂, सीएच₄, सिह₄, पीएच₃, एएसएच3, एसआईएच₂Cl₂, बी₂H₆, CH2F_2,चौधरी₃एफ, सीओ… आदि।

(iii) ज्वलनशीलतागैस: ओ₂, सीएल₂, एन₂ओ, एनएफ₃… आदि।

(iv) जड़तागैस: एन₂, सीएफ₄, सी₂F₆, सी₄F_8,एस एफ₆, सीओ₂, ने, क्र, हे...आदि।

कई अर्धचालक गैसें मानव शरीर के लिए हानिकारक होती हैं।विशेष रूप से इनमें से कुछ गैसें, जैसे SiH₄ सहज दहन, जब तक कोई रिसाव हवा में ऑक्सीजन के साथ हिंसक रूप से प्रतिक्रिया करेगा और जलना शुरू हो जाएगा;और एएसएच₃अत्यधिक विषैले, किसी भी मामूली रिसाव से मानव जीवन का खतरा हो सकता है, यह इन स्पष्ट खतरों के कारण है, इसलिए सिस्टम डिज़ाइन की सुरक्षा की आवश्यकताएं विशेष रूप से अधिक हैं।

गैसों के आवेदन का दायरा  

आधुनिक उद्योग के एक महत्वपूर्ण बुनियादी कच्चे माल के रूप में, गैस उत्पादों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, और बड़ी संख्या में सामान्य गैसों या विशेष गैसों का उपयोग धातु विज्ञान, इस्पात, पेट्रोलियम, रसायन उद्योग, मशीनरी, इलेक्ट्रॉनिक्स, कांच, चीनी मिट्टी की चीज़ें, निर्माण सामग्री, निर्माण में किया जाता है। , खाद्य प्रसंस्करण, चिकित्सा और चिकित्सा क्षेत्र।विशेष रूप से इन क्षेत्रों की उच्च तकनीक पर गैस के अनुप्रयोग का महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है, और यह इसकी अपरिहार्य कच्ची सामग्री गैस या प्रक्रिया गैस है।केवल विभिन्न नए औद्योगिक क्षेत्रों और आधुनिक विज्ञान और प्रौद्योगिकी की जरूरतों और प्रचार के साथ, गैस उद्योग के उत्पादों को विविधता, गुणवत्ता और मात्रा के मामले में छलांग और सीमा से विकसित किया जा सकता है।

माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक और अर्धचालक उद्योग में गैस अनुप्रयोग

सेमीकंडक्टर प्रक्रिया में गैस के उपयोग ने हमेशा एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाई है, विशेष रूप से सेमीकंडक्टर प्रक्रिया का व्यापक रूप से विभिन्न उद्योगों में उपयोग किया गया है, पारंपरिक ULSI, TFT-LCD से लेकर वर्तमान माइक्रो-इलेक्ट्रो-मैकेनिकल (MEMS) उद्योग तक, सभी जो उत्पादों की निर्माण प्रक्रिया के रूप में तथाकथित अर्धचालक प्रक्रिया का उपयोग करते हैं।गैस की शुद्धता का घटकों के प्रदर्शन और उत्पाद की पैदावार पर निर्णायक प्रभाव पड़ता है, और गैस आपूर्ति की सुरक्षा कर्मियों के स्वास्थ्य और संयंत्र संचालन की सुरक्षा से संबंधित है।

उच्च शुद्धता गैस परिवहन में उच्च शुद्धता पाइपिंग का महत्व

स्टेनलेस स्टील के पिघलने और सामग्री बनाने की प्रक्रिया में प्रति टन लगभग 200 ग्राम गैस अवशोषित की जा सकती है।स्टेनलेस स्टील के प्रसंस्करण के बाद, न केवल इसकी सतह विभिन्न प्रदूषकों से चिपकी हुई है, बल्कि इसकी धातु की जाली में भी एक निश्चित मात्रा में गैस अवशोषित होती है।जब पाइपलाइन के माध्यम से वायु प्रवाह होता है, तो धातु गैस के इस हिस्से को अवशोषित करती है, शुद्ध गैस को प्रदूषित करते हुए, वायुप्रवाह में फिर से प्रवेश करेगी।जब ट्यूब में वायु प्रवाह असंतुलित प्रवाह होता है, तो ट्यूब दबाव में गैस को सोख लेती है, और जब वायु प्रवाह गुजरना बंद हो जाता है, तो ट्यूब द्वारा सोखी गई गैस हल करने के लिए एक दबाव ड्रॉप बनाती है, और हल की गई गैस भी ट्यूब में शुद्ध गैस में प्रवेश करती है। अशुद्धियों के रूप में।इसी समय, सोखना और संकल्प दोहराया जाता है, जिससे ट्यूब की भीतरी सतह पर धातु भी एक निश्चित मात्रा में पाउडर का उत्पादन करती है, और यह धातु धूल के कण भी ट्यूब के अंदर शुद्ध गैस को प्रदूषित करते हैं।परिवहन की गई गैस की शुद्धता सुनिश्चित करने के लिए ट्यूब की यह विशेषता आवश्यक है, जिसके लिए न केवल ट्यूब की आंतरिक सतह की बहुत अधिक चिकनाई की आवश्यकता होती है, बल्कि उच्च पहनने के प्रतिरोध की भी आवश्यकता होती है।

जब मजबूत संक्षारक प्रदर्शन वाली गैस का उपयोग किया जाता है, तो पाइपिंग के लिए संक्षारण प्रतिरोधी स्टेनलेस स्टील पाइप का उपयोग किया जाना चाहिए।अन्यथा, पाइप जंग के कारण आंतरिक सतह पर जंग के धब्बे पैदा करेगा, और गंभीर मामलों में, धातु की स्ट्रिपिंग या यहां तक ​​कि वेध का एक बड़ा क्षेत्र होगा, जो शुद्ध गैस को वितरित करने के लिए दूषित करेगा।

उच्च प्रवाह दरों की उच्च शुद्धता और उच्च स्वच्छता गैस संचरण और वितरण पाइपलाइनों का कनेक्शन।

सिद्धांत रूप में, उन सभी को वेल्डेड किया जाता है, और वेल्डिंग लागू होने पर उपयोग की जाने वाली ट्यूबों को संगठन में कोई बदलाव नहीं करना पड़ता है।बहुत अधिक कार्बन सामग्री वाली सामग्री वेल्डिंग करते समय वेल्डेड भागों की वायु पारगम्यता के अधीन होती है, जिससे पाइप के अंदर और बाहर गैसों का पारस्परिक प्रवेश होता है और संचरित गैस की शुद्धता, सूखापन और सफाई को नष्ट कर देता है, जिसके परिणामस्वरूप नुकसान होता है हमारे सभी प्रयास।

सारांश में, उच्च शुद्धता वाली गैस और विशेष गैस संचरण पाइपलाइन के लिए, उच्च शुद्धता वाले स्टेनलेस स्टील पाइप के विशेष उपचार का उपयोग करना आवश्यक है, ताकि उच्च शुद्धता वाली पाइपलाइन प्रणाली (पाइप, फिटिंग, वाल्व, वीएमबी, वीएमपी सहित) बनाई जा सके। उच्च शुद्धता गैस वितरण एक महत्वपूर्ण मिशन है।

पारेषण और वितरण पाइपलाइनों के लिए स्वच्छ प्रौद्योगिकी की सामान्य अवधारणा

पाइपिंग के साथ अत्यधिक शुद्ध और स्वच्छ गैस बॉडी ट्रांसमिशन का मतलब है कि गैस के तीन पहलुओं को ले जाने के लिए कुछ आवश्यकताएं या नियंत्रण हैं।

गैस शुद्धता: जीगैस शुद्धता में अशुद्धता वातावरण की सामग्री: गैस में अशुद्धता वातावरण की सामग्री, आमतौर पर गैस शुद्धता के प्रतिशत के रूप में व्यक्त की जाती है, जैसे 99.9999%, अशुद्धता वातावरण सामग्री पीपीएम, पीपीबी, के मात्रा अनुपात के रूप में भी व्यक्त की जाती है। पीपीटी।

सूखापन: गैस में ट्रेस नमी की मात्रा, या नमी नामक राशि, आमतौर पर ओस बिंदु के रूप में व्यक्त की जाती है, जैसे वायुमंडलीय दबाव ओस बिंदु -70।सी।

सफाई: गैस में निहित दूषित कणों की संख्या, µm के कण आकार, कितने कण / M3 व्यक्त करने के लिए, संपीड़ित हवा के लिए, आमतौर पर कितने मिलीग्राम / m3 के अपरिहार्य ठोस अवशेषों के संदर्भ में भी व्यक्त किया जाता है, जो तेल सामग्री को कवर करता है .

प्रदूषक आकार वर्गीकरण: प्रदूषक कण, मुख्य रूप से धातु के कणों, वायुमंडलीय कालिख कणों, साथ ही सूक्ष्मजीवों, फेज और नमी युक्त गैस संघनन बूंदों, आदि द्वारा उत्पन्न पाइप लाइन दस्त, पहनने, जंग को संदर्भित करता है, इसके कण आकार के आकार के अनुसार में विभाजित है

ए) बड़े कण - कण आकार 5μm से ऊपर

बी) कण - सामग्री व्यास 0.1μm-5μm के बीच

ग) अल्ट्रा-सूक्ष्म कण - कण आकार 0.1μm से कम।

इस तकनीक के अनुप्रयोग को बढ़ाने के लिए, कण आकार और μm इकाइयों की अवधारणात्मक समझ में सक्षम होने के लिए, संदर्भ के लिए विशिष्ट कण स्थिति का एक सेट प्रदान किया जाता है।

निम्नलिखित विशिष्ट कणों की तुलना है