जैसे -जैसे अर्धचालक बाजार बढ़ता है, पवित्रता और सटीकता के लिए मानक अधिक कठोर हो जाते हैं। अर्धचालक विनिर्माण की गुणवत्ता में निर्धारण कारकों में से एक प्रक्रिया में उपयोग की जाने वाली गैसें हैं। ये गैसें विनिर्माण प्रक्रिया में कई भूमिकाएँ निभाती हैं, जिनमें शामिल हैं:
परिशुद्धता प्रक्रिया नियंत्रण
संदूषण रोकथाम
धातुकर्म संपत्ति वृद्धि
इन भूमिकाओं को प्रभावी ढंग से करने के लिए, गैस की आपूर्ति और वितरण प्रणाली कुशल होनी चाहिए। अर्धचालक विनिर्माण में उपयोग किए जाने वाले गैस हैंडलिंग सिस्टम के डिजाइन को मजबूत घटकों और अनुकूलित विधानसभाओं द्वारा समर्थित किया जाना चाहिए ताकि अर्धचालकों के विश्वसनीय और उच्च गुणवत्ता वाले उत्पादन को सुनिश्चित किया जा सके।
अर्धचालक विनिर्माण में इस्तेमाल की जाने वाली गैसें
अर्धचालकों के निर्माण की प्रक्रिया को प्रक्रिया के विभिन्न चरणों में विभिन्न गैसों के उपयोग की आवश्यकता होती है।
जबकि नाइट्रोजन, हाइड्रोजन, आर्गन और हीलियम जैसी सामान्य गैसों का उपयोग उनके शुद्ध रूप में किया जा सकता है, कुछ प्रक्रियाओं को विशेष मिश्रण की आवश्यकता हो सकती है। सिलन या सिलोक्सेन, हेक्सफ्लोराइड्स, हलाइड्स और हाइड्रोकार्बन अर्धचालक विनिर्माण में उपयोग की जाने वाली विशेष गैसों में से कुछ हैं। इनमें से कई गैसें खतरनाक या अत्यधिक प्रतिक्रियाशील हो सकती हैं, जिससे गैस सिस्टम के लिए घटकों के चयन और डिजाइन में चुनौतियां पैदा होती हैं।
यहां कुछ उदाहरण दिए गए हैं:
\ हाइड्रोजन और हीलियम अपने छोटे परमाणु आकार और वजन के कारण पाइपिंग और फिटिंग सिस्टम से आसानी से लीक कर सकते हैं।
\ Silanes अत्यधिक ज्वलनशील हैं और हवा में अनायास (ऑटोइग्नाइट) का दहन कर सकते हैं।
बयान, नक़्क़ाशी और चैम्बर की सफाई के चरणों में उपयोग किए जाने वाले \ नाइट्रोजन difluoride पर्यावरण में लीक होने पर एक शक्तिशाली ग्रीनहाउस गैस बन जाता है।
\ हाइड्रोजन फ्लोराइड (नक़्क़ाशी गैस) धातु पाइपिंग के लिए अत्यधिक संक्षारक है।
\ Trimethylgallium और अमोनिया को संभालना मुश्किल हो सकता है - उनके तापमान में छोटे उतार -चढ़ाव और दबाव की आवश्यकताओं को बयान प्रक्रिया को प्रभावित कर सकता है।
इन गैसों के नकारात्मक प्रभावों को कम करने के लिए प्रक्रिया की स्थिति को नियंत्रित करना सिस्टम डिज़ाइन के दौरान सर्वोच्च प्राथमिकता होनी चाहिए। निर्माण प्रक्रिया के दौरान AFK डायाफ्राम वाल्व जैसे उच्चतम गुणवत्ता वाले घटकों का उपयोग करना भी उतना ही महत्वपूर्ण है।
सिस्टम डिजाइन चुनौतियों का समाधान करना
सेमीकंडक्टर ग्रेड गैसें उच्च शुद्धता के अधिकांश मामलों में होती हैं और इनर्ट की स्थिति प्रदान करती हैं या विनिर्माण प्रक्रिया के विभिन्न चरणों में प्रतिक्रियाओं को बढ़ाती हैं, जैसे कि ईच और डिपोजिशन गैसें। ऐसी गैसों के रिसाव या संदूषण का नकारात्मक प्रभाव पड़ सकता है। इसलिए, यह सिस्टम घटकों के लिए महत्वपूर्ण है, जो कि हेर्मेटिक रूप से सील और संक्षारण प्रतिरोधी के साथ -साथ एक चिकनी सतह खत्म (इलेक्ट्रोलाइटिक पॉलिशिंग) के लिए उपयोग किया जाता है, यह सुनिश्चित करने के लिए कि संदूषण की कोई संभावना नहीं है और स्वच्छता के एक उच्च स्तर को बनाए रखा जा सकता है।
इसके अलावा, इनमें से कुछ गैसों को वांछित प्रक्रिया की स्थिति प्राप्त करने के लिए गर्म या ठंडा किया जा सकता है। अच्छी तरह से अछूता घटक तापमान नियंत्रण सुनिश्चित करते हैं, जो अंतिम उत्पाद के कुशल प्रदर्शन के लिए महत्वपूर्ण है।
स्रोत इनलेट से उपयोग के बिंदु तक, एएफके की विस्तृत श्रृंखला के घटक सेमीकंडक्टर क्लीनरूम और वैक्यूम चैंबर्स में आवश्यक अल्ट्रा-हाई प्योरिटी, तापमान, दबाव और प्रवाह नियंत्रण का समर्थन करते हैं।
सेमीकंडक्टर फैब्स में गुणवत्ता वाले घटकों के साथ डिज़ाइन की गई प्रणाली
गुणवत्ता घटकों और डिजाइन अनुकूलन की भूमिका अर्धचालक के सटीक नियंत्रण और सुरक्षित निर्माण के लिए महत्वपूर्ण है। उपयोग किए गए घटकों को विनिर्माण के विभिन्न चरणों में आवश्यक अलग-अलग प्रक्रिया की स्थिति से मेल खाने के लिए मजबूत और लीक-मुक्त होने की आवश्यकता है।
अति-उच्च शुद्धता
लीक-मुक्त मुहरें
तापमान नियंत्रित इन्सुलेशन
दबाव नियंत्रण
संक्षारण प्रतिरोध
इलेक्ट्रोलाइटिक पॉलिशिंग उपचार
पोस्ट टाइम: अक्टूबर -09-2023