सेमीकंडक्टर आपूर्ति श्रृंखला में अल्ट्रा-हाई प्यूरीिटी गैसें आवश्यक हैं। वास्तव में, एक विशिष्ट एफएबी के लिए, उच्च शुद्धता गैसें सिलिकॉन के बाद ही सबसे बड़ी भौतिक व्यय हैं। वैश्विक चिप की कमी के मद्देनजर, उद्योग पहले से कहीं अधिक तेजी से विस्तार कर रहा है - और उच्च शुद्धता गैसों की मांग बढ़ रही है।
अर्धचालक विनिर्माण में सबसे अधिक इस्तेमाल की जाने वाली थोक गैसें नाइट्रोजन, हीलियम, हाइड्रोजन और आर्गन हैं।
Nइट्रोजेन
नाइट्रोजन हमारे वातावरण का 78% बनाता है और बेहद प्रचुर मात्रा में है। यह रासायनिक रूप से अक्रिय और गैर-प्रवाहकीय भी होता है। नतीजतन, नाइट्रोजन ने कई उद्योगों में लागत प्रभावी अक्रिय गैस के रूप में अपना रास्ता खोज लिया है।
अर्धचालक उद्योग नाइट्रोजन का एक प्रमुख उपभोक्ता है। एक आधुनिक अर्धचालक विनिर्माण संयंत्र में 50,000 क्यूबिक मीटर नाइट्रोजन प्रति घंटे तक का उपयोग करने की उम्मीद है। अर्धचालक विनिर्माण में, नाइट्रोजन एक सामान्य उद्देश्य के रूप में कार्य करता है और गैस को शुद्ध करता है, संवेदनशील सिलिकॉन वेफर्स को हवा में प्रतिक्रियाशील ऑक्सीजन और नमी से बचाता है।
हीलियम
हीलियम एक अक्रिय गैस है। इसका मतलब यह है कि, नाइट्रोजन की तरह, हीलियम रासायनिक रूप से निष्क्रिय है - लेकिन इसमें उच्च तापीय चालकता का अतिरिक्त लाभ भी है। यह विशेष रूप से अर्धचालक विनिर्माण में उपयोगी है, जिससे इसे उच्च-ऊर्जा प्रक्रियाओं से कुशलता से गर्मी का संचालन करने की अनुमति मिलती है और उन्हें थर्मल क्षति और अवांछित रासायनिक प्रतिक्रियाओं से बचाने में मदद मिलती है।
हाइड्रोजन
हाइड्रोजन का उपयोग पूरे इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण प्रक्रिया में बड़े पैमाने पर किया जाता है, और अर्धचालक उत्पादन कोई अपवाद नहीं है। विशेष रूप से, हाइड्रोजन के लिए उपयोग किया जाता है:
एनीलिंग: सिलिकॉन वेफर्स को आमतौर पर उच्च तापमान तक गर्म किया जाता है और क्रिस्टल संरचना की मरम्मत (एनील) की धीरे -धीरे ठंडा किया जाता है। हाइड्रोजन का उपयोग गर्मी को समान रूप से वेफर में स्थानांतरित करने और क्रिस्टल संरचना के पुनर्निर्माण में सहायता करने के लिए किया जाता है।
एपिटैक्सी: अल्ट्रा-हाई प्योरिटी हाइड्रोजन का उपयोग सिलिकॉन और जर्मेनियम जैसे अर्धचालक सामग्री के एपिटैक्सियल बयान में एक कम करने वाले एजेंट के रूप में किया जाता है।
जमाव: हाइड्रोजन को अपनी परमाणु संरचना को अधिक अव्यवस्थित बनाने के लिए सिलिकॉन फिल्मों में डोप किया जा सकता है, जिससे प्रतिरोधकता बढ़ाने में मदद मिलती है।
प्लाज्मा सफाई: हाइड्रोजन प्लाज्मा विशेष रूप से यूवी लिथोग्राफी में उपयोग किए जाने वाले प्रकाश स्रोतों से टिन संदूषण को हटाने में प्रभावी है।
आर्गन
आर्गन एक और महान गैस है, इसलिए यह नाइट्रोजन और हीलियम के समान कम प्रतिक्रियाशीलता प्रदर्शित करता है। हालांकि, आर्गन की कम आयनीकरण ऊर्जा इसे अर्धचालक अनुप्रयोगों में उपयोगी बनाती है। आयनीकरण के अपने सापेक्ष आसानी के कारण, आर्गन को आमतौर पर ईच के लिए प्राथमिक प्लाज्मा गैस के रूप में उपयोग किया जाता है और अर्धचालक विनिर्माण में बयान प्रतिक्रियाओं का उपयोग किया जाता है। इसके अलावा, आर्गन का उपयोग यूवी लिथोग्राफी के लिए एक्साइमर लेज़रों में भी किया जाता है।
क्यों पवित्रता मायने रखती है
आमतौर पर, अर्धचालक प्रौद्योगिकी में प्रगति आकार स्केलिंग के माध्यम से प्राप्त की गई है, और अर्धचालक प्रौद्योगिकी की नई पीढ़ी को छोटे फीचर आकारों की विशेषता है। यह कई लाभ देता है: किसी दिए गए वॉल्यूम में अधिक ट्रांजिस्टर, बेहतर धाराएं, कम बिजली की खपत और तेजी से स्विचिंग।
हालांकि, जैसे -जैसे महत्वपूर्ण आकार कम होता जाता है, सेमीकंडक्टर डिवाइस तेजी से परिष्कृत होते जाते हैं। एक ऐसी दुनिया में जहां व्यक्तिगत परमाणुओं की स्थिति मायने रखती है, गलती सहिष्णुता थ्रेसहोल्ड बहुत तंग होती है। नतीजतन, आधुनिक अर्धचालक प्रक्रियाओं को उच्चतम संभव शुद्धता के साथ प्रक्रिया गैसों की आवश्यकता होती है।
गैस एप्लिकेशन सिस्टम इंजीनियरिंग में विशेषज्ञता वाले एक उच्च-तकनीकी उद्यम है: इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस प्रणाली, प्रयोगशाला गैस सर्किट सिस्टम, औद्योगिक केंद्रीकृत गैस आपूर्ति प्रणाली, बल्क गैस (तरल) प्रणाली, उच्च शुद्धता गैस और विशेष प्रक्रिया गैस माध्यमिक पाइपिंग सिस्टम, रासायनिक वितरण प्रणाली, शुद्ध जल प्रणाली, तकनीकी परामर्श, समग्र योजना, सॉल्यूमिंग, सॉल्यूशन, सॉल्यूशन, सोर्सिलरी उत्पादों का एक पूरा सेट प्रदान करने के लिए एक एकीकृत तरीके से परीक्षण, रखरखाव और अन्य सहायक उत्पाद।
पोस्ट टाइम: जुलाई -11-2023