सेमीकंडक्टर उद्योग में गैसों का उपयोग 1950 के दशक की शुरुआत में 1960 के दशक से है। अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया के दौरान, गैसों का उपयोग मुख्य रूप से उनकी शुद्धता और गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए अर्धचालक सामग्री को साफ करने और उनकी रक्षा करने के लिए किया जाता है। सबसे अधिक इस्तेमाल की जाने वाली गैसों में नाइट्रोजन और हाइड्रोजन हैं।
जैसे -जैसे अर्धचालक तकनीक विकसित हुई और विनिर्माण प्रक्रियाओं में सुधार जारी रहा, गैसों की मांग में वृद्धि हुई। 1970 में, सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग टेक्नोलॉजी के आगे का विकास, नक़्क़ाशी और पतली फिल्मों के बयान जैसी प्रमुख प्रक्रियाओं में गैसों का अनुप्रयोग धीरे -धीरे बढ़ गया, और फ्लोराइड गैसों (जैसे एसएफ 6) और ऑक्सीजन आमतौर पर नक़्क़ाशी और बयान गैसों का उपयोग किया जाता है। 1980 ने एकीकृत सर्किट के विकास और उनके लिए मांग में वृद्धि के साथ गैसों की मांग में और वृद्धि देखी। हाइड्रोजन की प्रक्रिया में हाइड्रोजन का व्यापक रूप से उपयोग किया गया था, जिसमें हाइड्रोजन एनीलिंग और हाइड्रोजन वाष्प जमाव शामिल हैं। और 1990 से वर्तमान तक, उच्च शुद्धता गैसों और विशिष्ट गैसों की मांग बढ़ गई है क्योंकि अर्धचालक डिवाइस के आकार में कमी आई है और नई प्रक्रियाएं शुरू की गई हैं। उदाहरण के लिए, चरम पराबैंगनी लिथोग्राफी (EUV) के अनुप्रयोग को नाइट्रोजन और हाइड्रोजन जैसे अत्यधिक उच्च शुद्धता गैसों के उपयोग की आवश्यकता होती है।
अधिक से अधिक उत्पादों द्वारा संचालित संबंधित उत्पादों के विकास के साथ अर्धचालक गैस में वृद्धि जारी है, जबकि गैस भी खतरे के स्रोत से संबंधित है, इसलिए गैस अपघटन, गैस का पता लगाने वाले उत्पादों के लिए उपयोग किए जाने वाले उत्पाद और गैस रिसाव के उत्पादों को रोकने के लिए दबाव नियामक, गैस वाल्व, गैस दबाव गेज, गैस लीक डिटेक्टर, आदि के रूप में उभरा है।
दबाव नियामक: दबाव नियामक गैस दबाव को नियंत्रित करने के लिए उपयोग किए जाने वाले उपकरण हैं। वे आमतौर पर एक नियामक वाल्व और एक दबाव सेंसर से मिलकर बनते हैं। दबाव नियामक एक उच्च दबाव गैस इनपुट लेते हैं और विशिष्ट अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए वाल्व को समायोजित करके आउटपुट गैस के दबाव को स्थिर करते हैं। गैस आपूर्ति की स्थिरता और सुरक्षा सुनिश्चित करने के लिए, उद्योग, विनिर्माण और प्रयोगशालाओं के साथ -साथ अर्धचालक उद्योग जैसे क्षेत्रों में दबाव नियामकों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।
गैस वाल्व: गैस वाल्व का उपयोग गैसों के प्रवाह को नियंत्रित करने और गैस मार्ग को बंद करने के लिए किया जाता है। उनके पास आमतौर पर एक ऑन/ऑफ फ़ंक्शन होता है जो गैस प्रवाह को खोलता या बंद करता है। मैनुअल वाल्व, इलेक्ट्रिक वाल्व और वायवीय वाल्व सहित विभिन्न प्रकार के गैस वाल्व हैं। गैसों के प्रवाह, दबाव और प्रवाह दर को नियंत्रित करने के लिए उन्हें गैस प्रणालियों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।
गैस दबाव गेज: गैस दबाव गेज का उपयोग गैस के दबाव के स्तर को मापने के लिए किया जाता है। वे आमतौर पर गैस प्रणालियों में महत्वपूर्ण स्थानों पर दबाव परिवर्तनों की निगरानी करने और यह सुनिश्चित करने के लिए स्थापित किए जाते हैं कि वे सुरक्षित सीमा के भीतर हैं। गैस दबाव गेज का व्यापक रूप से उद्योग, विनिर्माण और प्रयोगशालाओं में उपयोग किया जाता है, और अर्धचालक उद्योग भी शामिल किया गया है।
गैस रिसाव डिटेक्टर: गैस लीक डिटेक्टरों का उपयोग गैस प्रणालियों में लीक का पता लगाने के लिए किया जाता है। वे पता लगाते हैंगैस लीक की उपस्थिति और एक अलार्म बजाता है ताकि रिसाव दुर्घटनाओं को रोकने के लिए समय पर कार्रवाई की जा सके। गैस लीक डिटेक्टरों का व्यापक रूप से औद्योगिक, रासायनिक, तेल और गैस अनुप्रयोगों में उपयोग किया जाता है, और अर्धचालक उद्योग भी शामिल किया गया है।
पोस्ट टाइम: फरवरी -20-2024