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उच्च शुद्धता गैस पाइपिंग सिस्टम के लिए आवेदन के क्षेत्र

图 1

परियोजना में उच्च तकनीक वाले उद्योग जैसे अर्धचालक, एकीकृत सर्किट, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक, ऑटोमोबाइल, नई ऊर्जा, नैनो, फाइबर ऑप्टिक्स, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक, पेट्रोकेमिकल्स, बायोमेडिसिन, विभिन्न प्रयोगशालाओं, अनुसंधान संस्थानों और मानक परीक्षण, ई।

 

उच्च शुद्धता गैस पाइपलाइन प्रौद्योगिकी

 

  उच्च शुद्धता गैस पाइपिंग तकनीक उच्च शुद्धता गैस आपूर्ति प्रणाली का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है और आवश्यक आपूर्ति बिंदु तक उच्च शुद्धता गैसों की आपूर्ति के लिए एक महत्वपूर्ण तकनीक है। तथाकथित उच्च-शुद्धता गैस पाइपिंग तकनीक में सिस्टम का सही डिजाइन, फिटिंग और सामान का चयन, निर्माण और स्थापना, परीक्षण और…

 

  सामान्य गैसों के प्रकार

 

  सामान्य गैसों को सामान्य गैस इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में वर्गीकृत किया जाता है: सामान्य गैसों को, जिसे बल्क गैसों के रूप में भी जाना जाता है: हाइड्रोजन (एच 2), नाइट्रोजन (एन 2), ऑक्सीजन (ओ 2), आर्गन (ए 2) और अन्य विशेष गैसों (विशेष गैसों) (विशेष गैसों) मुख्य रूप से सिलिकॉन टेट्राक्लोराइड, हाइड्रोजन बोरोन, बोरोनफ्लुइड, बोरोनफ्लुइड, बोरोनफ्लुइड, हेक्सफ्लुओराइड, बोरॉन हेक्सफ्लोराइड, बोरॉन हेक्सफ्लोराइड, बोरॉन हेक्सफ्लोराइड, बोरॉन हेक्सफ्लोराइड, बोरॉन हेक्सफ्लोराइड, बोरॉन हेक्सफ्लोराइड, बोरॉन हेक्सफ्लुओराइड, और बोरॉन हेक्सफ्लुओराइड। आदि विशेष गैसों के प्रकार आमतौर पर संक्षारक, विषाक्त, ज्वलनशील, ज्वलनशील-सहायता प्राप्त, निष्क्रिय, और इसी तरह के रूप में वर्गीकृत किए जाते हैं।

 

  सामान्य अर्धचालक गैसों को निम्नानुसार वर्गीकृत किया गया है

 

  (1) संक्षारक/विषाक्त: हाइड्रोक्लोरिक एसिड, बीएफ 3, डब्ल्यूएफ 6, एचबीआर, सिलिका, एनएच 3, पीएच 3, सीएल 2, बीसीएल 3, आदि।

 

  । और इसी तरह।

 

  (3) ज्वलनशीलता: O2, CL2, N2O, NF3 ... आदि।

 

  (4) अर्धचालक गैसें, जैसे कि नोबल गैसें: CF4, C2F6, C4F8, CO2, NEON, KRYPTON, HELIUM…। मानव शरीर के लिए हानिकारक।

 

  विशेष रूप से, कुछ गैसों, जैसे कि SIH4, में सहज दहन की संपत्ति है। एक बार रिसाव होने के बाद, यह हवा में ऑक्सीजन के साथ हिंसक रूप से प्रतिक्रिया करेगा और जलने लगेगा। एएएसएच 3 भी विषाक्त है। मामूली लीक लोगों के जीवन को नुकसान पहुंचा सकता है। इन स्पष्ट खतरों के कारण, सिस्टम डिजाइन के लिए सुरक्षा आवश्यकताएं विशेष रूप से अधिक हैं।

 

  इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस पाइपिंग प्रणालियाँ

 


पोस्ट टाइम: APR-07-2024