टेल गैस ट्रीटमेंट इक्विपमेंट सेमीकंडक्टर, लिक्विड क्रिस्टल और सौर ऊर्जा उद्योगों में नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं और रासायनिक वाष्प जमाव की प्रक्रियाओं में उपयोग की जाने वाली गैसों को संभाल सकता है, जिसमें SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, और इसलिए शामिल हैं।
निकास गैस उपचार पद्धति
निकास गैस उपचार की विशेषताओं के अनुसार, उपचार को चार प्रकार के उपचार में विभाजित किया जा सकता है:
1। पानी की धुलाई का प्रकार (संक्षारक गैसों का उपचार)
2। ऑक्सीकरण प्रकार (दहनशील और विषाक्त गैसों से निपटना)
3। सोखना (संबंधित निकास गैस से निपटने के लिए सोखना सामग्री के प्रकार के अनुसार)।
4.पास्मा दहन प्रकार (सभी प्रकार के निकास गैसों का इलाज किया जा सकता है)।
प्रत्येक प्रकार के उपचार के अपने फायदे और नुकसान के साथ -साथ इसके आवेदन के दायरे भी हैं। जब उपचार विधि पानी की धुलाई होती है, तो उपकरण सस्ते और सरल होते हैं, और केवल पानी में घुलनशील गैसों को संभाल सकते हैं; इलेक्ट्रिक वॉटर वॉशिंग प्रकार की एप्लिकेशन रेंज पानी के धोने के प्रकार की तुलना में अधिक है, लेकिन ऑपरेशन की लागत अधिक है; शुष्क प्रकार में अच्छी उपचार दक्षता है, और गैस के प्रवाह पर लागू नहीं होता है जिसे बंद या प्रवाहित किया जाना आसान होता है।
सेमीकंडक्टर उद्योग में आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले रसायन और उनके उप-उत्पादों को उनके रासायनिक गुणों और उनकी अलग-अलग सीमाओं के अनुसार वर्गीकृत किया जा सकता है:
1। ज्वलनशील गैसें जैसे कि SIH4H2, आदि।
2। विषाक्त गैसें जैसे कि ASH3, PH3, ETC
3। संक्षारक गैसें जैसे कि एचएफ, एचसीएल, आदि।
4। ग्रीनहाउस गैसें जैसे कि CF4, NF3, Etce
चूंकि उपरोक्त चार गैसें पर्यावरण या मानव शरीर के लिए हानिकारक हैं, इसलिए वातावरण में इसके प्रत्यक्ष उत्सर्जन को रोकना चाहिए, इसलिए सामान्य अर्धचालक संयंत्र को एक बड़े केंद्रीकृत निकास गैस उपचार प्रणाली के साथ स्थापित किया जाता है, लेकिन यह प्रणाली केवल पानी की स्क्रबिंग निकास है, इसलिए इसका आवेदन लंबे समय तक चलने वाले पानी-घुलनशील गैसों तक सीमित है, और सेमाइक्शन के साथ नहीं कर सकता है। इसलिए, एक छोटे से तरीके से निकास गैस की समस्या को हल करने के लिए प्रत्येक प्रक्रिया से प्राप्त गैस विशेषताओं के अनुसार संबंधित निकास गैस उपचार उपकरण का चयन और मिलान करना आवश्यक है। चूंकि कार्य क्षेत्र ज्यादातर केंद्रीय निकास गैस उपचार प्रणाली से दूर है, अक्सर गैस की विशेषताओं के कारण पाइपलाइन में क्रिस्टलीकरण या धूल के संचय का नेतृत्व होता है, जिसके परिणामस्वरूप पाइपलाइन को गैस रिसाव के लिए अग्रणी होता है, और गंभीर मामलों में, यहां तक कि विस्फोट का कारण बनता है, यह सुनिश्चित नहीं कर सकता है कि साइट स्टाफ की कार्य सुरक्षा। इसलिए, कार्य क्षेत्र में कर्मियों की सुरक्षा सुनिश्चित करने के लिए कार्य क्षेत्र में स्थिर निकास गैस को कम करने के लिए, प्रक्रिया गैस की विशेषताओं के लिए उपयुक्त एक छोटे निकास गैस उपचार उपकरण को कॉन्फ़िगर करने की आवश्यकता है।
पोस्ट समय: अगस्त -10-2023